振動拋光機用于在機械制備后去除剩余的輕微變形，以顯現(xiàn)無應(yīng)力的表面，而不必使用電解拋光所需的危險的電解液。將 VibroMet 2 和 MasterMet? 2 二氧化硅懸浮液配合使用，進行化學機械拋光的試樣表面可滿足電子背散射衍射（EBSD）或原子力顯微鏡(AFM) 分析。